1、確定工作真空范圍
　　首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應的真空度范圍，必須認真研究確定之。
　　2、確定極限真空度
　　在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度,因為系統的極限真空度決定了系統的最佳工作真空度。一般來講，系統的極限真空度比系統的工作真空度低20%,比前級泵的極限真空度低50%。
　　3、主真空泵的選擇計算
　　s=2.303v/tlog(p1/p2)其中:s為真空泵抽氣速率、v為真空室容積、t為達到要求真空度所需時間、p1為初始真空度、p2為要求真空度。
　　4、真空容積
　　檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏?？紤]達到要求真空度后在--定I藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。
　　5、被抽氣體種類與抽氣量
　　檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內液體發生反應,泵系統將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產生的氣體量。